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高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能 期刊论文
河北大学学报(自然科学版), 2009, 卷号: 29, 期号: 5, 页码: 484-488,554
Authors:  武德起;  姚金城;  赵红生;  常爱民;  李锋;  周阳
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Zro2薄膜  高介电栅介质  等效厚度  漏电流