栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离
席善斌; 陆妩; 任迪远; 周东; 文林; 孙静; 吴雪
2012
Source Publication物理学报
ISSN1000-3290
Volume61Issue:23Pages:374-380
Abstract

设计并制作了一种栅控横向PNP双极晶体管测试结构,在常规横向PNP双极晶体管基区表面氧化层上制作了一栅电极,利用栅扫描法,通过扫描栅极所加电压,获得了基极电流随栅极电压的变化特性.理论推导和数学计算获得了氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷的定量变化,分离出栅控横向PNP双极晶体管在辐照及其室温退火过程中感生的缺陷.对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍.

Keyword栅扫描法 栅控 横向pnp双极晶体管 电荷分离
Indexed BySCI ; CSCD
CSCD IDCSCD:4706281
Citation statistics
Cited Times:4[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/5568
Collection新疆维吾尔自治区电子信息材料与器件重点实验室
材料物理与化学研究室
Affiliation1.中国科学院新疆理化技术研究所
2.新疆电子信息材料与器件重点实验室
3.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
席善斌,陆妩,任迪远,等. 栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离[J]. 物理学报,2012,61(23):374-380.
APA 席善斌.,陆妩.,任迪远.,周东.,文林.,...&吴雪.(2012).栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离.物理学报,61(23),374-380.
MLA 席善斌,et al."栅控横向PNP双极晶体管辐照感生电荷的定量分离".物理学报 61.23(2012):374-380.
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