XJIPC OpenIR  > 材料物理与化学研究室
空间高能粒子对纳米器件栅介质可靠性影响的研究
马腾
学位类型硕士
导师余学峰
2018-05-30
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业材料工程
关键词金属氧化物半导体 辐射效应 可靠性 辐射诱导泄漏电流 介质经时击穿
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/5424
专题材料物理与化学研究室
作者单位中国科学院新疆理化技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
马腾. 空间高能粒子对纳米器件栅介质可靠性影响的研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2018.
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