基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现
荀明珠; 李豫东; 郭旗; 何承发; 于新; 于钢; 文林; 张兴尧
2017
发表期刊发光学报
ISSN1000-7032
卷号38期号:6页码:828-834
摘要

基于标准工艺线的设计加固是大规模集成电路抗辐射加固的发展趋势,对微纳米单元器件进行辐射效应参数提取是实现设计加固的前提。为了摒除参数提取过程中封装引入的影响,实现在线参数测试,本文设计了一套晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取试验装置,兼备晶圆级器件电离总剂量辐照、器件参数在线测试分析功能,并且具有通用性强、测量范围宽、结构一体化、操作自动化等特点。对设备在50 kV管压下产生的X射线能谱、剂量率、束斑的测量以及对晶圆级MOS器件进行I-V、C-V、低频噪声特性的测试分析结果表明,该设备符合ASTM F1467测试标准,且能满足晶圆级器件辐射效应参数提取要求,可为大规模集成电路抗辐射设计加固提供良好的试验条件。

关键词抗辐射加固 试验装置 晶圆级器件 X射线辐照 辐射效应 参数提取
DOI10.3788/fgxb20173806.0828
收录类别EI ; CSCD
CSCD记录号CSCD:5994783
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/4826
专题中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室
材料物理与化学研究室
作者单位中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室;新疆电子信息材料与器件重点实验室;中国科学院新疆理化技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
荀明珠,李豫东,郭旗,等. 基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现[J]. 发光学报,2017,38(6):828-834.
APA 荀明珠.,李豫东.,郭旗.,何承发.,于新.,...&张兴尧.(2017).基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现.发光学报,38(6),828-834.
MLA 荀明珠,et al."基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现".发光学报 38.6(2017):828-834.
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