CMOS有源像素传感器的中子辐照位移损伤效应
汪波;  李豫东;  郭旗;  文林;  孙静;  王帆;  张兴尧;  玛丽娅
2015
发表期刊强激光与粒子束
ISSN1001-4322
卷号27期号:9页码:210-214
摘要

为研究空间高能粒子位移损伤效应引起的星用CMOS图像传感器性能退化,对国产CMOS有源像素传感器进行了中子辐照试验,当辐射注量达到预定注量点时,采用离线的测试方法,定量测试了器件的暗信号、暗信号非均匀性、饱和输出电压、像素单元输出电压等参数的变化规律。通过对CMOS图像传感器敏感参数退化规律及其与器件工艺、结构的相关性进行分析,并根据半导体器件辐射效应理论,深入研究了器件参数退化机理。试验结果表明,暗信号和暗信号非均匀性随着中子辐照注量的增大而显著增大,饱和输出电压基本保持不变。暗信号的退化是因为位移效应在体硅内引入大量体缺陷增加了耗尽区内热载流子产生率,暗信号非均匀性的退化主要来自于器件受中子辐照后在像素与像素之间产生了大量非均匀性的体缺陷能级。另外,还在样品芯片上引出了独立的像素单元测试管脚,测试了不同积分时间下像素单元输出信号。

关键词Cmos有源像素传感器 中子辐照 像素单元 饱和输出电压 位移效应
DOI10.11884/HPLPB201527.094001
收录类别CSCD
CSCD记录号CSCD:5531312
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文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/4515
专题中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室
作者单位中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室;新疆电子信息材料与器件重点实验室;中国科学院新疆理化技术研究所;中国科学院大学
第一作者单位中国科学院新疆理化技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
汪波;李豫东;郭旗;文林;孙静;王帆;张兴尧;玛丽娅. CMOS有源像素传感器的中子辐照位移损伤效应[J]. 强激光与粒子束,2015,27(9):210-214.
APA 汪波;李豫东;郭旗;文林;孙静;王帆;张兴尧;玛丽娅.(2015).CMOS有源像素传感器的中子辐照位移损伤效应.强激光与粒子束,27(9),210-214.
MLA 汪波;李豫东;郭旗;文林;孙静;王帆;张兴尧;玛丽娅."CMOS有源像素传感器的中子辐照位移损伤效应".强激光与粒子束 27.9(2015):210-214.
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