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XJIPC OpenIR  > 中国科学院新疆理化技术研究所(2002年以前数据)  > 专利
专利名称: 具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件)
发明人: 宋世庚 ; 陶明德 ; 吴关炎 ; 丛秀云
申请受理号: 98124283.9
专利授权号: ZL98124283.9
申请日期: 1998-11-28
授权日期: 2003-02-12
专利权人: 中国科学院新疆理化技术研究所
专利类别: 发明
授予国别: 中国
公开日期: 2013-11-27
状态: 授权后放弃
摘要: 本发明涉及一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件),该元件是用单面抛光的N型Si片制作,SI片电阻率在40到200Ωcm之间,其流程包括:氧化、光刻、硼预淀积、硼再分布和氧化、光刻、磷预淀积、磷再分布和氧化、刻引线孔、蒸铝、反刻铝、铝合金化、背面镀镍、划片、粘片、焊线、封装等。该元件制作工艺简单,成本低,应用方便,抗干扰能力强,适合于长距离传输。
内容类型: 专利
URI标识: http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/3203
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