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题名: PMOSFET低剂量率辐射损伤增强效应研究
作者: 高博; 刘刚; 王立新; 韩郑生; 余学峰; 任迪远; 孙静
关键词: PMOSFET ; 退火效应 ; 低剂量率辐射损伤增强效应
刊名: 原子能科学技术
发表日期: 2013
卷: 47, 期:5, 页:848-853
摘要: 为研究PMOSFET的低剂量率辐射损伤增强效应,本文对4007电路中PMOSFET在不同剂量率、不同偏置条件下的辐射响应特性及高剂量率辐照后不同温度下的退火效应进行了讨论。实验结果表明:相比高剂量率,低剂量率辐照时PMOSFET阈值电压漂移更明显,此种PMOSFET具有低剂量率辐射损伤增强效应;高剂量率辐照后进行室温退火时,由于界面陷阱电荷的影响,PMOSFET阈值电压继续负向漂移,退火温度越高,阈值电压回漂越明显;辐照时,零偏置条件下器件阈值电压的漂移较负偏置时的大,认为是最劣偏置。
英文摘要:  
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/2529
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PMOSFET低剂量率辐射损伤增强效应研究.pdf(359KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院新疆理化技术研究所;中国科学院微电子研究所

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高博,刘刚,王立新,等. PMOSFET低剂量率辐射损伤增强效应研究[J]. 原子能科学技术,2013,47(5):848-853.
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