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题名: Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究
作者: 谢琼 ; 常爱民 ; 杨文 ; 康健
会议名称: 第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期: 2003
出版日期: 2003
会议地点: 北京
收录类别: wanfang
主办者: 中国仪器仪表学会 中国电子学会 中国航空学会
摘要: 采用Si-SiO<,2>-PI结构制备了聚酰亚胺电容式湿度传感器,对该种传感器的特性进行了测试,并与传统夹层式结构的样品进行了对比.研究表明,Si-SiO<,2>-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下,其电容值要比传统结构样品高25,并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象,有利于批量生产.
语种: 中文
内容类型: 会议论文
URI标识: http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/2287
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谢琼;常爱民;杨文;康健.Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究.见:.,,2003,
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