XJIPC OpenIR  > 材料物理与化学研究室
Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究
谢琼; 常爱民; 杨文; 康健
2003
会议名称第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期2003-09-01
会议地点北京
摘要

采用Si-SiO<,2>-PI结构制备了聚酰亚胺电容式湿度传感器,对该种传感器的特性进行了测试,并与传统夹层式结构的样品进行了对比.研究表明,Si-SiO<,2>-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下,其电容值要比传统结构样品高25,并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象,有利于批量生产.

关键词湿度传感器 聚酰亚胺 结构 特性
主办者中国仪器仪表学会 中国电子学会 中国航空学会
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/2287
专题材料物理与化学研究室
作者单位中国科学院新疆理化技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
谢琼,常爱民,杨文,等. Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究[C],2003.
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